1、控制装置自诊断法。大型的CNC、PLC以及计算机装置都配有故障诊断系统，由开关、传感器把油位、油压、温度、电流等状态信息设置成数百个报警提示，用以诊断故障的部位和地点。
2、常规检查法。依靠人的感觉器官并借助一些简单的仪器来寻找故障的原因。
3、机、电、液综合分析法。因为复杂设备往往是机、电、液一体化的产品，所以对其故障的分析也要从机、电、液不同的角度对同一故障进行分析，可避免片面性，少走弯路。
4、备件替换法。将其有同样功能的两块板互相交换，观察故障现象是否转移还是依旧，来判断被怀疑板有无故障。
5、电路板参数测试对比法。系统发生故障后，采用常规电工检测仪器、仪表，按系统电路图及设备电路图，甚至在没有电路图的情况下，对可疑部分的电压、电流、脉冲信号、电阻值等进行实际测量，并与正常值和正常波形进行比较。
6、更新建立法，当控制系统由于电网干扰或其他偶然原因发生异常或死机时，可先关机然后重新启动，必要时，需要清除有关内存区的数据，待重新启动后对控制参数重新设置，可排除故障。
7、升温试验法。因设备运行时间较长或环境温度较高出现的软故障，可用电热吹风或红外线灯直接对准可疑电路板或组件进行加温。通过人为升温加速温度性能差的元器件性能恶化，使故障现象明显化，从而有利于检测出有问题的组件或元器件。
8、拉偏电源法，有些软故障与外界电网电压波动有关。人为调高或调低电源电压，模似恶劣的条件会让故障容易暴露。
9、分段淘汰法，有时系统故障链很长。可以从故障链的中部开始分段查。查到故障在哪一半中，可以继续用分段淘汰法查，加快故障的排查速度。
10、隔离法，将某部分控制电路断开或切断某些部件的电源，从而达到缩小故障范围的目的。但是许多复杂设备的电气控制系统反馈复杂，采用隔离法时应充分考虑其后果，并采取必要的防范措施。
11、原理分析法。根据控制系统的组成原理，通过追踪故障与故障相关联的信号，进行分析判断，直至找出故障原因。